| 設備參數 | 設備型號 | HS-FOCD-XXX |
| 運動軸數 | 13軸 |
| 電源 | AC 220V 50/60Hz 1000W两相电 |
| 氣壓源 | 0.5-0.7MPa壓縮空氣，-90kPa |
| 設備重量 | 450kg |
| 設備尺寸（不含信號燈） | 1500*900*1700（寬-深-高，單位mm） |
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| 系統組成 | 耦合系統 | 3維高精度直線電機+3維角度滑台 |
| 夾持系統 | 真空吸附 |
| 電流源(選配) | 电压/电流分辨率：1mV/1mA 电压/电流范围：0-70V/0-10A 控制方式：程控 |
| UV固化 | 波长：365nm 照射头数：2
光強：≥1000mw/cm2 |
| 點膠機 | 气动點膠機，点胶重复精度：±0.01% |
| 視覺系統 | 側視視覺 |
| 光斑分析儀（選配） | 狹縫式光束分析儀，覆蓋400-2700nm |
| 積分球 | 8或12英寸積分球，最大支持100W输入功率 |
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| 主要運動平台參數 | 耦合系統 | X軸 | Y軸 | Z軸 | θXθYθZ |
| 行程 | >500 | 70 | 70 | ±4° |
重複定位精度
（耦合區域） | ±0.1um | ±0.005° |
| 驅動方式 | 直線電機驅動光柵尺閉環反饋 | 步進電機 |
| 說明：設備技術參數依據具體客戶需求可能會有改變，上述參數僅供參考 |